我们将开始销售与I-Heating Co, Ltd（位于福冈县糸岛市）共同开发的感应加热蒸镀源“IHES™”。

“IHES™（感应加热气相沉积源）”

这是一种蒸发源，结合了我们的EV-ALL®坩埚（具有无论材料投入量、随时间变化和成膜速度如何都能稳定分布形状的特性）和I-Heating Co, Ltd的感应加热方法。这不仅提供了极高的膜厚度和面内膜厚度分布的再现性，而且还提供了对坩埚温度和成膜速率的高响应控制。

介绍的三大好处
1。减少器件制造时间
2。减少器件制造过程中的材料消耗
3。可以使用极少量的材料制造设备
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此外，在有机EL论坛第34届例会上（2022年6月30日），我们做了题为“用于制造有机EL器件的紧凑型感应加热蒸发源的开发”的一般演讲。
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联系信息
真空及机电设备事业部运营部
电话：0836-72-3177
邮件：mechatro@choshucojp